氦气提纯与回收系统该设备包含回收压缩机、缓冲罐、膜分离纯化系统、PSA提纯系统、高压增压泵(压缩机)、高压储罐、控制系统等组成，罐体检漏结束后其内剩余的含氦气体(原料气)经减压阀调节压力进入缓冲罐直接进行回收,可将检漏罐体内的气体回收至1.0MPa,若罐体内氦气需要进一步回收,则开启旁路压缩机将罐体内气体抽空至常压并增压进入缓冲罐,缓冲罐内压力维持在1.0MPa,缓冲罐内的气体直接进入膜分离纯化系