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河南氦气气提纯与回收系统设备包含回收压缩机、缓冲罐、膜分离纯化系统、PSA提纯系统、高压增压泵(压缩机)、高压储罐、控制系统等组成。罐体检漏结束后其内剩余的含氦气体(原料气)经减压阀调节压力进入缓冲罐直接进行回收,可将检漏罐体内的气体回收至1.0MPa,若罐体内氦气需要进一步回收,则开启旁路压缩机将罐体内气体抽空至常压并增压进入缓冲罐,缓冲罐内压力维持在1.0MPa,缓冲罐内的气体直接进入膜分离纯化系统进行一次提纯,而后进入PSA提纯系统进行二次提纯,然后将氨气提纯至≧99.9% ,并通过高压压缩机增压储存备用。河南氦气气提纯与回收系统,其中PSA提纯系统集成深度脱水及脱氧功能,露点可降到约-40,其尾气经梯度回收并采用二次增压进入膜分离提纯单元,以提高氦气回收的收率。河南氦气气提纯与回收系统主要用于回收工业废气等。